依托MEMS微🇩🇪纳工艺，可在毫米级硅片👩🏭。
与传统光学感知材料相比，😹🇬🇺硅基光电转换机理响应速度可。
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依托MEMS微🇩🇪纳工艺，可在毫米级硅片👩🏭。
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与传统光学感知材料相比，😹🇬🇺硅基光电转换机理响应速度可。
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